氣體輸送管道的施工方法
2022-08-03 17:22:18
氣體輸送管道廣泛應用于集成電路器件生產、太陽能光伏電池生產PDF顯示器面板生產等微電子領域,該系統輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氫、氯氣等工藝氣體),以上氣體在下文中簡稱“超凈氣體”。
氣體輸送管道施工方法
在管道安裝前，應繪制管道軸側圖，標明管道的長度和焊口的詳細位置。繪圖時應多考慮焊接的操作空間，并盡量著氣流的方向進行安裝。為了防止微粒污染，管道的所有預組裝加工應在臨時凈化間內進行。管子在切割過程中應防止變形或劃出痕跡，在切割的過程中用高純氬氣進行吹掃以避免污染。切割完后，用專用刮削工具將端口刮削至平整，光滑，如端面不平，用專用工具將未端平整。焊接接口的好壞將直接影響到焊縫的質量，從而影響整個配管安全。
為了確保焊縫質量，正式施焊前以及焊接過程中任何一參數(位置、氣流、管徑等〕發生變化，都必須做焊接試驗《即樣品)，樣品的焊接記錄也應登記在每天的日常焊接記錄上面，經檢驗合格后方可正式施焊，焊縫成型必項均勻、美觀.不允許有未焊透、未熔合、焊面內凹、氣孔、錯邊等缺陷。預制好的管道附件的兩端必須用潔凈的塑料蓋子連同塑料薄膜起封好，并用潔凈的膠帶扎緊，以減少大氣對管道的污染。
在現場施工時，周圍的環境會對潔凈管道有污染的危險性，因此應盡可能地在臨時凈化間內施焊，減少現場焊接點的數量。在全自動脈沖氬弧焊焊接過程中，如果管內殘留有氧氣或水分，則在焊接部位會形成氧化膜，變成微粒發生源，所以，在焊接過程中及焊接前后，用高純氮氣充分置換管內的氧氣或水分是非常重要的。焊接保護氣體經過0.05um過濾器過濾。現場每完成好一部分管道，兩端閥門必須關緊(如沒有閥門，管內就應一直充著氬氣保護)在管道施工過程中難免會有微粒進人管道系統內，管路系統的吹掃是一個必不可少的過程;
高純氣體管道用高純氮氣進行吹掃，先吹主干管，其次吹支干管.最后吹掃各支管。吹掃時間根據氣體品質不同要求確定，直到測試純度合格為止。非氮氣管道，用氮氣吹掃合格后進行置換，然后再次吹掃，直至置換后的氣體達到純度要求為止。根據氣體工藝要求應做各種測試，包括管道系統總體對外泄漏試驗、總體對內泄漏試驗、顆粒物、露點、含氧量測試氦檢泄漏試驗等。管道經測試合格后管內通入高純氮氣進行保護。
對于高純氣體輸送系統的潔凈度控制，貫穿于系統設計、施工、驗收、使用各階段，在設計階段需作周密考慮，從系統配置上保證減少污染。在施工階段，從施工開始時即必須對微粒進行嚴密管理，在整個施工過程中每道工序和流程中，需采取防止微粒污染的措施，才能把微粒污染控制到最小限度，滿足高純氣體對管路輸送系統的要求。